1200℃微型二通道混气CVD系统-OTF-1200X- S50- 2F

简要描述：OTF-1200X-S50-2F迷你型CVD管式炉，是一款通过CE认证的可开启式管式炉，能使样品加热到1200℃。左法兰上安装一个数字式真空显示计，右法兰上安装有一KF-25接口，可以与机械泵相连接（抽速为226L/m）。同时左法兰上安装有φ6.35的卡套接头，使得炉体可与两路混气系统相连接。精确的控温系统提供30段升温和降温程序，其控温精确度为+/- 1 °C 。

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厂商性质：生产厂家
更新时间：2022-10-12
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CVD、PECVD设备

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OTF-1200X-S50-2F迷你型CVD管式炉，是一款通过CE认证的可开启式管式炉，能使样品加热到1200℃。左法兰上安装一个数字式真空显示计，右法兰上安装有一KF-25接口，可以与机械泵相连接（抽速为226L/m）。同时左法兰上安装有φ6.35的卡套接头，使得炉体可与两路混气系统相连接。精确的控温系统提供30段升温和降温程序，其控温精确度为+/- 1 °C 。

技术参数

高温炉	壳体	采用双层壳体炉膛采用多晶氧化铝纤维，zui大程度减小能量损失内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度
（点击图片查看详情）	功率	1.75KW
	电压	AC -220V
	温度	zui高工作温度：1200℃（< 1hr）连续工作温度1100 ℃ 升温速率 <= 10C/min
	炉管	石英管50 x 43 x 450mm (O.D x I.D x Length)
	加热区	加热区长度: 8" (200mm) 恒温区长度: 2.3" (60mm) (+/-1°C) @ 900 °C
	温控系统	PID30段程序化控温控温精度: +/- 1℃ 控温仪表操作视频
	加热元件	掺钼铁鉻铝（表面涂有氧化锆涂层，使其zui大程度延长使用寿命）
两路混气系统	两个浮子流量计量程为16 —100mL/min -0.1-0.15 MPa, (0.01 MPa/grit) 三个机械压力表：-0.1-0.15 MP 混气箱上安装有一不锈钢针阀后端装有φ6.35卡套接头，无需通电外型尺寸: 340Lx300Dx 180H, mm ( 13.4"x12"x7"). 净重: 14 lbs.
真空法兰和配件	结构左法兰右法兰标准真空配件: 一个数字式真空显示计一个φ6.35的卡套接头两个KF25转接头一个600mm的不锈钢波纹管
可选	本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。
真空泵	规格: 2XZ-2双旋真空泵抽气速率:120 liter/m 功率:1/2HP 375W 油箱容积: 1000ml
产品净重	100 lbs
产品尺寸	炉体:340 x 300 x 400mm 真空泵:440 x 160 x 300mm 混气系统: 340 x 300 x 180mm
运输重量	200lbs
质保期	一年质保期（不包括炉管、硅胶O型圈和加热元件等损耗件）
质量认证	CE certified